紫外激光波長(zhǎng)通常介于100nm至400nm之間，這使得它在材料加工領(lǐng)域具備獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)和廣泛的應(yīng)用。紫外激光以其高能量密度和短波長(zhǎng)的特性而聞名，能夠?qū)⒛芰垦杆偌械轿⑿〉膮^(qū)域內(nèi)。因此，它可用于進(jìn)行精細(xì)加工，尤其在微觀(guān)尺度上表現(xiàn)突出。

舉例而言，紫外激光刻蝕技術(shù)在半導(dǎo)體芯片制造中扮演著核心角色。隨著對(duì)紫外激光功率要求的不斷提升，開(kāi)發(fā)紫外高功率波片變得至關(guān)重要。

普通紫外高功率低級(jí)波片結(jié)構(gòu)通常是將一片石英晶體基底拋光后，在其表面鍍上紫外增透膜。

盡管這種工藝能夠確保較高的功率和透過(guò)率，但在實(shí)際使用中存在以下不足之處：由于紫外波長(zhǎng)極短，即使將單片加工到0.05-0.1mm的厚度，波片的級(jí)數(shù)仍然相對(duì)較高。因此，在使用過(guò)程中，產(chǎn)品容易因太薄而容易碎裂。在性能方面，波片的寬帶、接收角和溫度穩(wěn)定性往往難以滿(mǎn)足需求。

這種設(shè)計(jì)利用紫外融石英支撐石英晶體，無(wú)需增加石英晶體的厚度，卻能顯著提高其機(jī)械強(qiáng)度。

因此，波片得以承受更高功率的紫外波段激光，延長(zhǎng)石英晶體的使用壽命并減少破裂風(fēng)險(xiǎn)。相較于傳統(tǒng)的低級(jí)波片，此設(shè)計(jì)在紫外波長(zhǎng)下表現(xiàn)出更穩(wěn)定的溫度性能、更廣泛的接收角范圍和更寬的接收波長(zhǎng)帶寬，實(shí)現(xiàn)一舉兩得的效果。

利用光膠在第一層和第二層二氧化硅之間形成一層二氧化硅膜，實(shí)現(xiàn)了將紫外融石英和石英晶體相連的目的。該波片的結(jié)構(gòu)排列為紫外增透膜/紫外融石英/二氧化硅膜/石英晶體/紫外增透膜。光膠的運(yùn)用使得紫外融石英、第一層二氧化硅、第二層二氧化硅和石英晶體之間形成了堅(jiān)固的鍵合，從而能夠承受更高功率的紫外激光。

同時(shí)，在波片表面鍍上抗激光損傷的紫外增透膜，提升透過(guò)率。

波片技術(shù)在各種激光和光學(xué)應(yīng)用中都具有廣泛的應(yīng)用潛力，可以為相關(guān)行業(yè)帶來(lái)更高效、更可靠的解決方案，推動(dòng)技術(shù)的進(jìn)步和創(chuàng)新。